三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室温下为无色液体，是卤代硅烷的一种，在有机合成中有很多用途。它在无水情况下稳定，但遇水即分解，生成六甲基二硅氧烷和盐酸。由氯甲烷与硅粉在氯化亚铜存在下反应并精馏提纯获得，也可由亲核性甲基试剂如甲基锂与四氯化硅发生亲核取代

反应制得。

中文名 三甲基氯硅烷 化学式 C3H9ClSi CAS登录号 75-77-4 熔    点 -40℃ 外    观 无色溶液 闪    点 -18℃ 分子量 108.64 英文名 trimethyl chlorosilane 密    度 0.857g/cm3 沸    点 57.3℃